以下のサンプルでは、テキストファイルをUnicodeで書き込んでいます。CreateTextFile の二つ目の引数をTrueにするかどうかで上書きするかどうかを示します。三つめの引数をTrueにするかどうかで、Unicodeで書き込むかどうかを指定しています。
 Dim fso, MyFile
   Set fso = CreateObject("Scripting.FileSystemObject")
   Set MyFile = fso.CreateTextFile("testfile.txt", True, True)
   MyFile.WriteLine("これはテストです。")
   MyFile.Close
参考にさせて頂いたサイト
http://msdn.microsoft.com/ja-jp/library/cc428022.aspx
 
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